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溅射离子泵无油超高真空系统。此系统是获得清洁超高真空的主要手段，可以获得10-9Pa的真空度，一般由溅射离子泵、钛升华泵与分子筛吸附泵或者是与涡旋泵、液氮阱等共同组成，可以获得清洁的无油超高真空系统。由于溅射离子泵的启动压力在1Pa以下，而且对有机蒸汽敏感，因此在使用时需要对其进行*底的烘烤除气，并用预抽泵抽走烘烤释放出的气体。

  在安装泵之前，应在进气口和出气口打开的情况下检查电机旋转方向。从电机端看，驱动轴应逆时针旋转。注意电机或外壳上指示旋转方向的箭头。如果电机转向错误，可以通过在电机连接端子块上互换两相来纠正。

  电机功率、转速是和真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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真空是指在给定的空间内低于一个大气压的气体状态或稀薄的气体状态，可分为低真空、中真空、高真空、极高真空。真空泵是使用*广泛的真空获得设备。真空泵维修服务公司

因此为保证罗茨真空泵能达到较高真空度，需保证罗茨真空泵转子及与泵腔之间的间隙。所以大部分中高真空罗茨真空泵使用时必须配备前级泵，利用前级泵将系统内压力抽至一定范围，再启动罗茨真空泵，保证合理范围内的出入口压差，这样就可以避免罗茨真空泵因高压差而导致过载。真空泵维修服务公司

真空泵抽不出液体

　　1、没有灌注液体？

　　答：重新灌真空泵

　　2、吸入管、出管或真空泵的流道堵塞？

　　答：消除杂物

　　3、吸入管或真空泵内没有排净气体？

　　答：检修吸入管路并排净气体

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广州潽拓光电科技有限公司——varian  真空涡轮分子泵维修

罗茨真空泵（增压型）必须和前级真空泵（单级旋片真空泵，油封液环真空系统，等干式粗低真空泵串联使用如：双级或多级爪型泵，或直排大气的预冷型罗茨泵等）真空涡轮分子泵维修

罗茨真空系统将获得比前级泵更髙的抽速和更低的极限压力。

正确的前级泵的选择取决于不同的应用，主要的因素有以下几个：

1.    所需的抽速和和极限压力，真空涡轮分子泵维修

2.    被抽气体的性质（是否可凝性，*燃*爆，腐蚀性等）

3.    真空系统的清洁度

随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。真空涡轮分子泵维修

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